Összefoglalás
A tömegáramlásmérő a félvezetőgyártási berendezések nagyon fontos alkatrészei. Munka stabilitása gyakran kulcsfontosságú tényezővé válik a félvezető folyamatok sikerének és kudarcának.
HORIBA STEC, A világszerte több mint 35%-os piaci részesedéssel* rendelkező áramlásmérő gyártóként hosszú ideje folyamatosan magas minőségű, sokfunkciós termékeket kínálunk a félvezetőipar számára. A HORIBA STEC a teljesen új technológiával világszerte bemutatja a Z500 sorozatot.
A régebbi modellekhez képest a Z500X sorozat teljesen új áttörést jelent, és megváltoztatja az áramlásvezérlő technológia jövőjét. A kompozit gázok és kompozit áramlások átalakítása biztosítja az ügyfeleknek az áramlásszabályozáshoz szükséges összes funkciót. Az ügyfelek a folyamati igényeknek megfelelően könnyen megváltoztathatják az áramlásmérő gáz típusát és mérési tartományát*2.
Ezenkívül a termékanyagok technológiai innovációjának köszönhetően a Z500 sorozat teljes mértékben megfelel a RoHS zöld termékek tervezési követelményeinek, növelve a termék értéket az ügyfelek számára.
A Z500 sorozat nagy teljesítményű áramlásmérője még több meglepetést ad Önnek. A világ tanúja ennek az új tömegáramlási mérőnek a születésének, amely hamarosan megváltoztatja az egész félvezetőipart.
*1 Lásd a VLSI 2007-es tanulmányát.
*2 Kompozit gáz, kompozit áramlási funkció.
jellemzők
Nagy pontosság: ±1,0%-os áramlási érték beállítása.
Az MFC lineáris pontosságát a polynomiális közelítési görbe kompenzálja, amely biztosítja a magas ellenőrzési pontosságot az egyes ellenőrzési tartományokon belül. A különböző tényleges gáztípusok ellenőrzésének pontosságának javítása érdekében a HORIBA STEC szabványos gázmerés rendszereket fejlesztett ki, és számos kísérlet alapján különböző folyamati gázok kalibrációs adatait gyűjtött.
Nagy sebességű válasz
A SEC-Z500X a legújabb fejlesztett "változtatható PID" rendszert használja, amely biztosítja, hogy bármely két beállított áramlási pont közötti változás 1 másodpercen belül történjen. A különböző áramlás beállításakor a PID-adatok automatikusan kiigazulnak, még a gáztípus és az áramlási tartomány változása után is, a PID-adatok automatikusan optimalizálhatók a nagy sebességű reagálás érdekében.
Kompozit gázok, kompozit áramlási programok
A HORIBA STEC új termékei lehetővé teszik az ügyfelek számára, hogy könnyen megváltoztassák a gáztípusokat és az áramlást a helyszínen. Z500 beállítási szoftverünk egyszerű és könnyen használható. És még jobb, hogy ezeknek a változtatásoknak a befejezéséhez még az MFC leválasztását sem kell a rendszerből. Ennek köszönhetően jelentősen csökkenthető az ügyfél pótalkatrészeinek mennyisége, miközben időt és költségeket takaríthat meg.
Termékek és egyéb