Az ultratiszta víz előkészítése során a TOC (teljes szerves szén) magyarázata elengedhetetlen, az UV-185nm alacsony nyomású, magas energia ultraibolya technológia alkalmazása és az UV-254nm ultraibolya sterilizátor kombinációja képes magas dózisú UV-185nm ultraibolya fény katalizálásával hidroxi szabad gyököket termelni a vízben, a vízben lévő szerves anyagok oxidációs lebomlása a TOC tartalom csökkentése érdekében a vízben