Mérési követelmények
Speciális anyagok vékony filmfelületének durvosságának mérése

Fő jellemzők áttekintése
1. érintésmentes mérés, integrált tervezés
3. 3D profilszkennelés, többfunkciós adatfeldolgozás
3. A különböző anyagok pontos mérésére alkalmas
4. Egyszerű használat, könnyű felszerelés
Gyors szkennelési sebesség, magas helymeghatározási pontosság
6. ± 0,5-től ± 1 μm-ig biztosított ismétlődő pontosság

7. Nagy stabilitás, erős interferencia elleni képesség

Mérési eredmények
Membrán durvosság Ra körülbelül 0,8 μm

Megoldás a jelenlegi mérőberendezések problémáinak

1. A mérési anyagokra vonatkozó bizonyos követelmények
2. érintkezési mérés, a mérési anyag károsodása
Kicsi mérési tartomány, helyzet bizonytalan, nehéz meghatározni
Lass mérési sebesség, alacsony pontosság, nagy mérési hiba

5. összetett szerkezet, magas költségek