Modellszám: K-Alpha
gyártó: Thermo
Kiegészítők: argon-ion pisztoly
Fény mérete: 30-400 mikron
Elemzési mód: opcionális területi spektroskopiai elemzés, mélységi elemzés

Példa: üvegfelületi titán-dioxid bevonatú O elem különböző ionárak aránya