fő
KRI Hall-típusú ionforrás Gridless
CTI fedélzeti IS 低温泵
HVA vákuum téglalapos szelep
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú
Thermonics alacsony hőmérsékletű hűtő
Műszer és mérőműszer
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú ATH 1600 MT
Thermonics alacsony hőmérséklet Hűtő A-80-1700, léghűtés
Hakuto Ionfárva IBE
Hakuto Ionfározó gép 20IBE-J
HVA téglalapú vákuumselepek (dugóslepek) 88200 sorozat
CTI fedélzeti® IS 320FX 低温泵
Egyesült Államok KRI Hall ionforrás Gridless eH sorozat
Egyesült Államok KRI Hall ionforrás eH 400
Egyesült Államok KRI Hall ionforrás eH 1000
Hőkatódos vákuummező PBR 260 IMR 265
Sikeres művelet!