fő
KRI Hall-típusú ionforrás Gridless
CTI fedélzeti IS 低温泵
HVA vákuum téglalapos szelep
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú
Thermonics alacsony hőmérsékletű hűtő
Műszer és mérőműszer
Hőkatódos vákuummező PBR 260 IMR 265
Sikeres művelet!