fő
KRI Hall-típusú ionforrás Gridless
CTI fedélzeti IS 低温泵
HVA vákuum téglalapos szelep
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú
Thermonics alacsony hőmérsékletű hűtő
Műszer és mérőműszer
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú ATH 1600 MT
Sikeres művelet!