fő
KRI Hall-típusú ionforrás Gridless
CTI fedélzeti IS 低温泵
HVA vákuum téglalapos szelep
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú
Thermonics alacsony hőmérsékletű hűtő
Műszer és mérőműszer
Thermonics alacsony hőmérséklet Hűtő A-80-1700, léghűtés
Sikeres művelet!