fő
KRI Hall-típusú ionforrás Gridless
CTI fedélzeti IS 低温泵
HVA vákuum téglalapos szelep
Teljes mágneses lebegő turbomolekuláris szivattyú
Thermonics alacsony hőmérsékletű hűtő
Műszer és mérőműszer
CTI fedélzeti® IS 320FX 低温泵
Sikeres művelet!